线锯切割往往与精密切割相挂钩，这主要是线切割的表面质量较好，而且因为较小的线径，其切缝特别窄，能够满足精密切割的要求。
锯切表面粗糙度说明分析：
锯切运动方式对锯切表面粗糙度的影响程度很大，无论是有机玻璃还是单晶硅，环形线锯丝锯切表面光滑平整、无崩碎现象，易操作石墨环线切割机，表面粗粗度达Ra0.8。由于环形线锯丝单方向连续运动，石墨环线切割机，运动速度大，切割精度高石墨环线切割机，磨粒相对切割表面运动轨迹各不相同，实际上也均化原始误差，使表面切割纹理没有明显规律性。磨粒尺寸越小，切削深度越小，得到的加工表面质量越高。使用更小粒度金刚石磨粒制造的线锯丝，应当能够进一步减小加工表面粗糙度。因此环形线锯丝切割表面面形精度更高行。
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多线切割
多线切割是当下比较常见的线切割方式，在光伏行业应用广泛。但环形金刚石线的出现，切缝小石墨环线切割机，使多次多片切割可以通过单线完成，其效率更高。
随着光伏产业发展游离磨料多线切割（Multi-wire slurrysawing，MWSS）已逐渐成熟，其使用一根较长的直径为150~300μm，切割金属丝尺寸为600~800km，锯丝张紧力一般为20N。游离磨料多线切割去除机理图，两个收放轮缠绕有较长金属线，右侧为收紧轮，左侧为放线轮。金属丝通过相应的方式缠绕，在4个导线轮的导向下形成平行紧密的多线加工机构。
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精密切割硬脆材料时会出现已加工表面的亚表面损伤，光学材料亚表面损伤会使光照射到表面上时产生大量的散射，降低了光的成像质量，若光学晶体存在亚表面损伤则会使激光有很大的损耗而降低材料的使用性能。
精密切割后亚表面损伤深度影响抛光加工工序，所以研究精密切割光学硬脆材料亚表面损伤深度对提高生产效率具有重要意义。
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