技术参数；
产品名称及型号 | 大气探针台 |
屏蔽盒 | |
材质 | 碳钢喷塑 |
盒体尺寸 | 180mmX120mmX80mm |
盒体重量 | 约2KG |
盒体上视窗尺寸 | Φ42mm |
样品台 | |
样品台材质 | 铝合金 （可扩展真空吸附）（可扩展与大地绝缘） |
样品台尺寸 | φ30mm |
探针 | |
电信号接头 | 配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA接头 香蕉插头 选其一 线长1.2米 |
电学性能 | 绝缘电阻 ≥5000MΩ 介质耐压 ≤500V 电流噪声 ≤10pA |
探针数量 | 4探针（可扩展6探针） |
探针材质 | 钨合金探针 （其他材质可选） |
探针尖 | 50μm 或10μm（其他规格可选） |
手动探针移动平台 | |
移动方式 | 全手动点针 |
X轴移动行程 | 15mm ±7.5mm（需手动推动滑台） |
X轴控制精度 | ≥500μm |
R轴移动行程 | 120° ±60°（需手动旋转探针杆） |
R轴控制精度 | ≥500μm |
Z轴移动行程 | 5mm |
Z轴控制精度 | ≤50μm（需手动螺纹调节探针杆） |
