BROOKS-5850E系列热式气体质量流量计/控制器brooks

郑州思舜电子科技有限公司是一家致力于气体控制方案解决的服务商。我们公司主要代理美国BROOKS全系列气体质量流量控制器以及经营气体混配器、气体配比仪、气体浓度稀释仪，并且提供流体控制解决方案。

布鲁克斯仪器仪表公司凭借70年的丰富经验和可靠的测量技术,持续稳定地为您提供高水准的工艺流程。Brooks 系列产品特点是高精度、高零点稳定性以及高重复性，而上述特性正是行业者对质量流量测量和控制技术的需求所在。产品设计采用先进的可配置多气体/多量程功能，相较于竞争产品拥有更好的零点漂移参数并且经确证能够更持久地保持出厂校准状态和精度。

BROOKS流量计产品特点： 

期零点稳定性，每年变动小于满量程的 0.2%

能够根据命令变化迅速进行流量响应并且过冲/下冲可忽略不计

流量范围宽 - 从3sccm 一1000slpm

耐高压等级 - 耐压高达 1,500 psi

可拆卸式流量传感器

不受安装角度影响

能和其他质量流量控制器在机械和电气设计方面兼容

电驱动阀超调

耐化学腐蚀阀门

BROOKS流量计技术参数：

流量范围-满量程容量：3sccm - 1000 slpm

精度：±1% ofFS （1.5% of FS > 20 slpm）

重复性：0.25% of Rate

线性Included in accuracy：0.25% ofRate

响应时间-常闭 ： E SeriesControllers: < 3 seconds Meters: 6 Seconds

压力范围Controllers: 1500 psig Meters: up to4500 psig on some models

控制范围：50:1

零点稳定性：< 0.2% F.S. per year

输入和输出:  0-5 Vdc

电源：±15Vdc