现货供应美国原装进口BROOKS布鲁克斯5850E气体质量流量计控制器

BROOKS 5850E参数： ·型 号： BROOKS 5850E ·量 程： 3sccm-1000SLPM ·测 量 精 度：满量程的1% ·控 制 范 围： 50：1 ·反 应 时 间： 2s ··输入输出信号： 0-5V ·电 源： ±15V ·零点 稳定性： 每年变动小于满量程的±0.2% ·工作温度范围： 5~65℃（41~149℉） ·工作压力范围： 0-1500psi/0-100 bar ·压差控制范围： 5-50psi/0.35-3.45bar ·漏率（外部）： 1x10-9 atm.cc/sec He ·阀 门 类 型： 常开、常闭、仪表 · 密 封 材 料： 316L不锈钢、高合金不锈钢、Viton®氟橡胶、Buna-N、Kalrez 和 Teflon ·电 气 连 接： 15 针公接头 Sub D 型连接器 (DA-15P) 或Card Edge 连接器（控制器型号） BROOKS优点： 一、先进的热式流量测量传感器：1、优异的信躁比性能，可在低设定值下获得高精度 2、通过改进传感器制造和烧机测试工艺获得良好的长期稳定性3、恒温封装可降低对外部温度变化的敏感性 二、宽流量范围 5800系列流量范围及其广，5850具有低至3sccm的满量程流量。借助50:1 的高调节比，可重复测量或控制 0.06 sccm 流量的气体！5853 型可监测或控制高达1000 Slpm 的气体流量。三、快速响应性能 5800 系列的电子器件和优异的机械配置确保快速、稳定的响应特性。